ＤＬＣ膜コーティング装置及びＤＬＣ膜コーティング装置を用いて被覆対象物を被覆する方法

摘要

【課題】プラズマ発生の安定性を向上させ、かつ膜堆積に伴う装置の保守作業を低減するＤＬＣ膜コーティング装置を提供する。【解決手段】プラズマ励起用ガスと炭化水素ガスの混合ガスが導入されると共に被対象物が配置されるチャンバー２と、チャンバー２内に被対象物を中心に同軸的に配置された複数の炭素棒電極３及びチャンバー２内に配置された複数のアース電極４からなる電極アセンブリ１０と、炭素棒電極３に負の直流電圧を印加するためのパルス電源装置６ｂと、炭素棒電極３とアース電極４が存在する空間に磁界を印加するための電磁石１３とを有することを特徴とする。【選択図】図２