| 摘要 |
チップ面積が大きくなることなく、静電容量のリニアリティに優れた可変容量アレイを提供する。同一のシリコン基板２上に設けられたｎ個の可変容量素子１０を備え、各可変容量素子１０は、固定容量電極１１と、固定容量電極１１と対向する可動容量電極１２と、固定容量電極１１に対し、可動容量電極１２を離接させる静電アクチュエーター１３とを有し、固定容量電極１１は、可動容量電極１２と対向する対可動対向面に、１個以上の固定側突出部１４が突出形成され、ｎ個の可変容量素子１０間で、各固定側突出部１４が同一の形状および大きさに形成されていると共に、固定側突出部１４の個数が相違する。 |
