| 摘要 |
본 발명의 목적은, 기판의 단면(端面)을 포함하는 주연부(周緣部)에 막형성액을 얇고 또한 균일한 막 두께로 도포할 수 있어, 막 두께 변동이 적은 도막을 안정적으로 형성할 수 있는 도포장치(1)를 제공하는 것에 있으며, 기판(2)을 지지하는 지지테이블(10)과, 한 쌍의 도포헤드(21)를 구비한 도포유닛(20)과, 도포유닛(20)을 이동시키는 이동유닛(40)과, 도포헤드(21)에 막형성액(51)을 공급하는 액공급유닛(50)과, 도포헤드(21)의 간극에 기판(2)의 단부(端部)를 삽입한 상태에서, 도포헤드(21)를 기판(2)의 주연부를 따라 이동시키도록 이동유닛(20)을 제어하는 제어부(70)를 구비하고, 도포헤드(21)가, 막형성액(51)을 모으는 액류부(22a, 23a)와, 액류부(22a, 23a)를 통과시킨 기판(2)의 단부에 부착된 막형성액(51)을 박막상으로 도공하는 도공부(22c, 22d, 23c, 23d)를 장비한다. |
