| 摘要 |
【課題】ダイアフラム式可変絞り装置において、装置の大型化を抑制しながらダイアフラムの振動を抑制することを可能にする。【解決手段】筐体２３と、筐体２３の内部空間を流体貯留室４３と流体吐出室３３とに区画するダイアフラム５１と、流体吐出室３３と筐体２３の外部とに貫通してダイアフラム５１に正対して設けられた吐出通路３９と、を備え、流体貯留室４３と流体吐出室３３とが連通しており、加圧された流体を流体貯留室４３と流体吐出室３３とに受け入れ、流体貯留室４３内と流体吐出室３３内の圧力差によりダイアフラム５１が撓んでダイアフラム５１と吐出通路３９との距離が変わることにより流体の流量を調整しながら吐出通路３９を通じて流体を吐出するダイアフラム式可変絞り装置において、吐出通路３９中にダイアフラム５１の振動を抑制する振動抑制機構６０を設ける。【選択図】図３ |
