有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する装置、有機材料用の蒸発源を含む蒸発堆積装置を有するシステム、及び有機材料用の蒸発源を操作するための方法

摘要

有機材料用の蒸発源が記載される。蒸発源は、有機材料を蒸発させるように構成された蒸発るつぼと；蒸発るつぼと流体連通しており、蒸発中に軸周囲を回転可能である、一又は複数の排出口を有する分配管と；第１のドライバと連結可能であり又は第１のドライバを含む、分配管の支持体であって、第１のドライバが支持体及び分配管の並進運動のために構成される、支持体とを含む。【選択図】図２