| 摘要 |
【課題】被検物の三次元形状を高速且つ高精度に計測する。【解決手段】パターンが投影された被検物を撮影して得られた画像に基づいて被検物の三次元形状を計測する三次元計測装置であって、第１の撮影条件及び第２の撮影条件でそれぞれ取得された前被検物の第１の画像及び第２の画像を、パターンを投影するための光源による単位時間当たりの露光量及び当該露光量に対応する輝度値の大小関係が、第１の画像及び第２の画像の間で保持されるように合成する合成部と、合成部により合成された画像に基づいて被検物の三次元形状を計測する計測部とを備える。【選択図】 図２ |
