| 摘要 |
【課題】精度の良いマウントが行える汎用性の高いマウント装置を提供する。【解決手段】 セパレータＳに接着テープＴａを仮着した帯状の原接着テープＴを供給するテープ供給手段９と、接着テープＴａに切込みを設けて貼り付けテープＴｂを形成するプリカット手段２０と、貼り付けテープＴｂをダイシングフレーム４に貼り付けるテープ貼り付け手段３０と、基板供給手段４５と、ダイシングフレーム４をマウントテーブル５１に供給するフレーム供給手段７０と、基板１をダイシングフレーム４に固定するマウント手段５０とを備え、プリカット手段２０で貼り付けテープＴｂを形成し、テープ貼り付け手段３０でダイシングフレーム４に貼り付けテープＴｂを貼り付ける作業と、前記作業と並行してマウント手段５０で基板１を貼り付けテープＴｂを介してダイシングフレーム４にマウントする作業を行うようにする。【選択図】図１ |
