| 摘要 |
【課題】搬送時における基板の管理負担を低減することができる基板処理システムを提供する。【解決手段】処理装置に供給すべき基板が長尺方向に巻かれた供給ロールを有し、基板の長尺方向と短尺方向を含む所定の面内で並進運動と回転運動とが可能な第１のユニット部と、処理装置で処理された基板が長尺方向に巻かれる回収ロールを有し、所定の面内で並進運動と回転運動とが可能な第２のユニット部と、基板を処理装置に向けて搬送する際、供給ロールと回収ロールの間に基板を掛け渡した状態で、第１のユニット部と第２のユニット部との長尺方向の間隔を変えるように第１のユニット部と第２のユニット部の少なくとも一方を移動させ、所定の面内に設定される中心点の回りに第１のユニット部と第２のユニット部とを旋回させるように、第１のユニット部と第２のユニット部の各々の並進運動と回転運動を制御する制御装置と、を備える。【選択図】図１ |
