| 摘要 |
【課題】多数のプローブのそれぞれについてのプローブ基板上での針立て作業を不要とするプローブの製造方法を提供する。【解決手段】プローブの製造方法は、（Ａ１）基板上に剥離層を形成する工程、（Ａ２）剥離層上の一部の領域に固定層を形成する工程、（Ａ３）剥離層上に固定層と同層に犠牲層を形成することによりベース層を形成する工程、（Ａ４）ベース層上に複数のプローブを形成してプローブ層を形成し、プローブ連結体を形成する工程、並びに（Ａ５）プローブ連結体を基板から取り外す工程をこの順で複数回繰り返し、プローブ連結体を複数製造する第１の工程と、複数のプローブ連結体を積み重ね第１のプローブ積層体を製造する第２の工程と、第１のプローブ積層体から犠牲層を除去することにより第２のプローブ積層体を形成する第３の工程とを有し、互いに離間配置された複数のプローブを形成する。【選択図】図４ |
