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发明名称
低蒸気圧のエアゾールに支援されるCVD
摘要
【課題】基板上に自己組織化単分子膜を形成するための装置を提供する。【解決手段】加熱されたキャリアガスの供給源1002と、加熱されたキャリアガスを受容するよう構成され、凝縮物質前駆体からエアゾール液滴を生成するエアゾール発生装置1003−1と、エアゾール液滴を受容する、前駆体導管1015−1と、DC電源と、上部電極1009及び底部電極1010を有する。上部電極1009と底部電極1010とは平行であり、エアゾール液滴を受容する電気的間隙を形成し、上部電極1009及び底部電極1010は、真空電気フィードスルーを経てDC電源からの差動電圧でバイアスされる。差動電圧は、エアゾール液滴のサイズを低減するために、上部電極1009と底部電極1010との間に印加される。チャンバ1001内の基板処理領域の中に基板ペデスタル1014が配置され、自己組織化単分子層の形成中に基板1013を支持する。【選択図】図5A
申请公布号
JP3208344(U)
申请公布日期
2017.01.05
申请号
JP20160005148U
申请日期
2016.10.25
申请人
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドAPPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人
アルネパリ, ランガ ラオ;バグール, ニレッシュ チマンラオ;ゴラディア, プレナ サンサリア;フィッサー, ロバート ヤン
分类号
C23C16/44
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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