| 摘要 |
【課題】全キャリアガス流量を正確に計測可能なフローコントローラと、それを用いたガスクロマトグラフ装置を提供する。【解決手段】キャリアガス供給流路２０中に配置された流路抵抗２１と、制御弁２４と、圧力検出部２２と、差圧検出部２３とを備えるフローコントローラ６０であって、第一設定供給圧力Ｐｉｎ，ｒｅｆ１における差圧Δｐと全流量ｆｔｅｍｐ１との相関を示す第一検量線と、第一設定供給圧力Ｐｉｎ，ｒｅｆ１より大きい第二設定供給圧力Ｐｉｎ，ｒｅｆ２における差圧Δｐと全流量ｆｔｅｍｐ２との相関を示す第二検量線とを記憶する記憶部５２を備え、圧力検出部２２で検出された供給圧力ｐｉｎと、差圧検出部２３で検出された差圧Δｐ情報と、第一検量線と、第二検量線とに基づいて、キャリアガスの全流量ｆを算出する。【選択図】図１ |
