屈折率の計測方法、計測装置、光学素子の製造方法

摘要

【課題】被検物の位相屈折率を高精度に計測することができる計測方法を提供する。【解決手段】光源１０からの光を参照光と被検光に分割し、参照光と被検物８０を透過した被検光を干渉させて参照光と被検光の位相差を計測する。基準被検物の位相屈折率の波長に関する傾きに基づいて、位相差が有する２πの整数倍に対応する未知数を算出し、被検物８０の位相屈折率を算出する。【選択図】図１