APPARATUS FOR TESTING

摘要

본 발명의 검사 장치는 기판의 정렬 상태를 확인하는 정렬 유니트 및 보조 정렬 수단;을 포함하고, 상기 보조 정렬 수단은 상기 기판의 이동 경로 상으로 상기 정렬 유니트의 하류에 위치할 수 있다.