| 摘要 |
【課題】複数の吸気口を有する真空ポンプの排気性能の向上。【解決手段】真空ポンプ１は、第１ポンプステージＰ１と、第１ポンプステージＰ１よりもポンプ下流側に設けられた第２ポンプステージＰ２と、第１ポンプステージＰ１の吸気側に設けられた第１吸気口７２と、第１ポンプステージＰ１よりも下流側に設けられ、第２ポンプステージＰ２に連通する第２吸気口７３と、を備え、第１ポンプステージＰ１は、小流量に適したジーグバーンポンプ部（３５〜３６）とターボ分子ポンプ部（３１，３２）とで構成され、第２ポンプステージＰ２は、大流量に適したホルベックポンプ部（６０〜６２）で構成されている。【選択図】図２ |
