发明名称 ファイバレーザ、光学装置、および計測装置
摘要 【課題】 低コストかつコンパクトな構成で、安定性や計測再現性が高く広帯域の観察が可能な計測装置、及びその計測装置に用いる光学装置およびファイバレーザを提供する。【解決手段】互いに異なる波長を有する第1の光パルス列と第2の光パルス列とを試料(118)に照射して当該試料からの光を計測する計測装置(100)に用いられる、第2の光パルス列として散逸ソリトンを発振するファイバレーザ(104)である。そして、第1の光パルス列に第2の光パルス列を同期させるように第2の光パルス列の位相を変調する位相変調手段(113)を有する。【選択図】 図1
申请公布号 JP2017003311(A) 申请公布日期 2017.01.05
申请号 JP20150114919 申请日期 2015.06.05
申请人 キヤノン株式会社 发明人 米谷 勇輝;大内 千種
分类号 G01N21/65;H01L41/087;H01L41/09 主分类号 G01N21/65
代理机构 代理人
主权项
地址