一种防止研磨垫刮伤晶圆的系统

摘要

本发明公开了一种防止研磨垫刮伤晶圆的系统，包括：一清理盘，其表面设置有凸出的若干钻石，且每个所述钻石暴露的表面均包裹有一层磁性材料；一研磨垫，其表面与所述清理盘的表面相对设置；一磁性感应器，设置于所述研磨垫的下方，以对所述研磨垫表面的磁性情况进行检测，另外该系统还包括报警装置。在研磨过程中，若清理盘上的磁性材料脱落至研磨垫上，就会被磁性感应器感应，触发报警装置，研磨垫停止研磨。该系统可以实时的监测钻石是否脱落而导致的晶圆刮伤的效果，防止了晶圆由于严重刮伤而报废的后果，大大提高了产品的良率，降低了成本。

主权项

一种防止研磨垫刮伤晶圆的系统，其特征在于，所述系统包括：一清理盘，其表面设置有凸出的若干钻石，且每个所述钻石暴露的表面均包裹有一层磁性材料；一研磨垫，其表面与所述清理盘的表面相对设置；一磁性感应器，设置于所述研磨垫的下方，以对所述研磨垫表面的磁性情况进行检测；其中，在对一晶圆进行化学机械研磨过程中，所述清理盘对所述研磨垫进行清理，若所述清理盘上的磁性材料脱落至所述研磨垫上时，被所述磁性感应器感应，所述研磨垫停止研磨。