| 发明名称 | 边缘曝光装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种边缘曝光装置和方法，该装置包括：预对准部件，包括：旋转台，用于控制所述旋转台X向移动的X向运动机构、用于控制所述旋转台Y向移动的Y向运动机构和用于图像采集的检测装置；曝光部件，包括：曝光镜头和曝光控制器，所述曝光镜头位置固定，所述曝光控制器控制所述曝光镜头进行曝光动作。本发明的预对准部件可实现X向、Y向的自动切换，从而完全可以满足在硅片不同位置曝光的位置切换需求，同时曝光部件为了确保曝光性能的稳定，曝光镜头静止不动，直线切换过程通过预对准部件进行。 | ||
| 申请公布号 | CN106292195A | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
| 申请号 | CN201510270100.0 | 申请日期 | 2015.05.24 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 牛增欣;郑教增 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种边缘曝光装置，包括：预对准部件，包括：旋转台，用于控制所述旋转台X向移动的X向运动机构、用于控制所述旋转台Y向移动的Y向运动机构和用于图像采集的检测装置；曝光部件，包括：曝光镜头和曝光控制器，所述曝光镜头位置固定，所述曝光控制器控制所述曝光镜头进行曝光动作。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||