一种太赫兹波反射成像装置及方法

摘要

本发明公开了一种太赫兹波反射成像装置，包括依次设置在同一太赫兹光路上的太赫兹源、分束镜、准直聚焦系统和样品定位装置，被测样品反射的太赫兹波经过分束镜时被反射，进入到探测器，探测器接收携带被测样品信号的太赫兹波。在被测样品的成像区域内固定设置对太赫兹波反射效果更强的金属材料作为定位标记，预先设定与被测样品的相对位置。由于定位标记的反射效果更强，当太赫兹波成像时会清楚成像，通过定位标记与被测样品的实际位置作为标准，由定位标记的显像位置可以判断出成像中被测样品的图像，得到被测样品更加精准的图像尺寸，提高太赫兹波检测的准确性。本发明还提供一种太赫兹波反射成像方法，能实现相同的技术效果。

主权项

一种太赫兹波反射成像装置，其特征在于，包括依次设置于同一光路上的太赫兹源(1)、分束镜(2)、准直聚焦系统(3)和样品定位装置(4)，还包括设置于所述分束镜(2)反射光路上的探测器(5)；所述样品定位装置(4)包括用于固定被测样品(6)的固定板(41)，所述被测样品(6)的成像区域内固定设置金属的定位标记(42)。