使用微圆顶阵列的压电式换能器

摘要

一种超声波压电式换能器装置，包括换能器阵列和基底，换能器阵列由振动元件阵列组成，换能器阵列中的振动元件阵列附接至基底。基底包括集成电互连，用于在振动元件和外部控制电路之间传送驱动信号和感测信号。基底可以是ASIC晶圆，其包括集成电路，用于控制对所感测信号的驱动和处理。基底中的互连和控制电路基本装配在位于多个振动元件阵列下方的区域内。

主权项

一种压电式换能器，包括：支撑结构，其中具有孔；以及换能器元件，具有固定到支撑结构的第一表面的内表面，该换能器包括驱动电极、参比电极以及布置在驱动电极和参比电极之间的换能器元件，换能器元件具有定位成接收或产生外部介质中的压力波的外表面，并且其中，驱动电极、参比电极和压电元件均包括相应柔性部和连接到该相应柔性部的相应静止部，其中，驱动电极、参比电极和压电元件的柔性部悬于所述支撑结构的孔之上，并在所述驱动电极和所述参比电极之间没有施加电压以及没有施加会增加柔性部上的机械应力的力的情况下相对于支撑件的第一表面在第一方向上弯曲，并且其中，所述参比电极、驱动电极和压电元件的柔性部响应于在所述驱动电极和所述参比电极之间施加的驱动电压而偏转。