发明名称 全自动硅片裂片机
摘要 本发明公开了一种全自动硅片裂片机,包括:底板,底板的一端设置有导轨,导轨一端设置有麦拉纸吸放机械手,另一端设置有硅片吸放机械手,硅片吸放机械手的一侧设置有硅片定位台;于麦拉纸吸放机械手与硅片吸放机械手之间,底板上设置有叠料旋转平台;对应叠料旋转平台,底板上设置有喷嘴;底板的一侧设置有碾压运料机构,碾压运料机构包括与底板固定的支撑板,支撑板上设置有导轨丝杆,导轨丝杆上设置有升降丝杆,升降丝杆连接运料气缸与压轮,运料气缸的伸缩轴与吸盘连接,于压轮下方,底板上设置有裂片滚压平台,滚压平台的侧边设置有下料输送带。该硅片裂片机降低工作人员的劳动强度,具有稳定的可靠性,提高产品的良率与品质。
申请公布号 CN106298652A 申请公布日期 2017.01.04
申请号 CN201610848357.4 申请日期 2016.09.26
申请人 华朔工业自动化设备无锡有限公司 发明人 周孟秋
分类号 H01L21/78(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/78(2006.01)I
代理机构 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 代理人 刘洪京
主权项 一种全自动硅片裂片机,其特征在于,包括:底板,所述底板的一端设置有导轨,所述导轨一端设置有麦拉纸吸放机械手,另一端设置有硅片吸放机械手,所述硅片吸放机械手的一侧设置有硅片定位台;于所述麦拉纸吸放机械手与所述硅片吸放机械手之间,所述底板上设置有叠料旋转平台;对应所述叠料旋转平台,所述底板上设置有喷嘴;所述底板的一侧设置有碾压运料机构,所述碾压运料机构包括与所述底板固定的支撑板,所述支撑板上设置有导轨丝杆,所述导轨丝杆上设置有升降丝杠,所述升降丝杠与运料气缸及压轮连接,所述运料气缸的伸缩轴与吸盘连接,于所述压轮下方,所述底板上设置有裂片滚压平台,所述滚压平台的侧边设置有下料输送带。
地址 214000 江苏省无锡市金山四支路11-4