发明名称 |
全自动硅片裂片机 |
摘要 |
本发明公开了一种全自动硅片裂片机,包括:底板,底板的一端设置有导轨,导轨一端设置有麦拉纸吸放机械手,另一端设置有硅片吸放机械手,硅片吸放机械手的一侧设置有硅片定位台;于麦拉纸吸放机械手与硅片吸放机械手之间,底板上设置有叠料旋转平台;对应叠料旋转平台,底板上设置有喷嘴;底板的一侧设置有碾压运料机构,碾压运料机构包括与底板固定的支撑板,支撑板上设置有导轨丝杆,导轨丝杆上设置有升降丝杆,升降丝杆连接运料气缸与压轮,运料气缸的伸缩轴与吸盘连接,于压轮下方,底板上设置有裂片滚压平台,滚压平台的侧边设置有下料输送带。该硅片裂片机降低工作人员的劳动强度,具有稳定的可靠性,提高产品的良率与品质。 |
申请公布号 |
CN106298652A |
申请公布日期 |
2017.01.04 |
申请号 |
CN201610848357.4 |
申请日期 |
2016.09.26 |
申请人 |
华朔工业自动化设备无锡有限公司 |
发明人 |
周孟秋 |
分类号 |
H01L21/78(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/78(2006.01)I |
代理机构 |
北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 |
代理人 |
刘洪京 |
主权项 |
一种全自动硅片裂片机,其特征在于,包括:底板,所述底板的一端设置有导轨,所述导轨一端设置有麦拉纸吸放机械手,另一端设置有硅片吸放机械手,所述硅片吸放机械手的一侧设置有硅片定位台;于所述麦拉纸吸放机械手与所述硅片吸放机械手之间,所述底板上设置有叠料旋转平台;对应所述叠料旋转平台,所述底板上设置有喷嘴;所述底板的一侧设置有碾压运料机构,所述碾压运料机构包括与所述底板固定的支撑板,所述支撑板上设置有导轨丝杆,所述导轨丝杆上设置有升降丝杠,所述升降丝杠与运料气缸及压轮连接,所述运料气缸的伸缩轴与吸盘连接,于所述压轮下方,所述底板上设置有裂片滚压平台,所述滚压平台的侧边设置有下料输送带。 |
地址 |
214000 江苏省无锡市金山四支路11-4 |