一种晶圆传送装置

摘要

本发明提供一种晶圆传送装置，包含晶圆传送叉，其中，所述晶圆传送叉上设置有若干喷气孔，当所述晶圆传送装置伸入至所述扩散炉中时，每个所述喷气孔的朝向分别指向不同的晶舟角。所述晶圆传送装置具有了传统晶圆传送装置不具备的吹扫功能，在机台未发生或发生舟杆图（rod map）造成的高密度颗粒时，都可以自动吹扫，减少人为操作的装载（loading）,无需开后门氧气置换，节省处理时间，提高机台的运行时间。

主权项

一种晶圆传送装置，应用于一具若干晶舟角的扩散炉中，所述装置包括晶圆传送叉，其特征在于，所述晶圆传送叉上设置有若干喷气孔，当所述晶圆传送装置伸入至所述扩散炉中时，每个所述喷气孔的朝向分别指向不同的晶舟角；其中，所述若干喷气孔包括若干第一喷气孔和若干第二喷气孔；所述若干第一喷气孔均设置于所述晶圆传送叉的上部；所述若干第二喷气孔均设置于所述晶圆传送叉的下部。