一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置

摘要

本发明公开了一种基于半导体制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置,抛光装置主体为表层涂有微细磨粒的抛光盘，抛光盘背面装有半导体制冷片，抛光盘底部设有至少三圈由半导体制冷片环形排列组成的温控带；抛光盘上方还设有装有激光表面粗糙度测量仪的悬臂导轨，激光表面粗糙度测量仪用于测量抛光盘表面粗糙度从而对微细磨粒分布情况进行分析，进而通过控制每圈温控带的温度以调整抛光盘表面平整度。本发明利用激光表面粗糙度测量仪测得是数据准确，保证磨粒层更加平整，从而保证加工精度更高；利用半导体制冷片控制温度，经济实惠，控制方便；通过改变温度改变微细磨粒的溶解度，从而使得整个装置结构简单且便于控制。

主权项

一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置，其特征在于：所述抛光装置主体为表层涂有微细磨粒的抛光盘(1)，所述抛光盘(1)背面装有半导体制冷片(13)，所述抛光盘(1)底部设有至少三圈由半导体制冷片(13)环形排列组成的温控带，每圈所述温控带的半导体制冷片(13)统一控制，每圈所述温控带独立控制；所述抛光盘(1)上方还设有装有激光表面粗糙度测量仪(7)的悬臂导轨(8)，所述激光表面粗糙度测量仪(7)用于测量抛光盘(1)表面粗糙度从而对所述微细磨粒分布情况进行分析，进而通过控制每圈所述温控带的温度以调整抛光盘(1)表面平整度。