发明名称 用于激光处理设备的多重光束组合器
摘要 公开用于组合放大的辐射光束的设备和方法。光束组合器具有准直光学元件,该准直光学元件被定位成相对于准直光学元件的光轴以恒定的入射角接收多个相干辐射光束。各自的入射角度在某些实施方式中亦可为不同的。准直光学元件具有使光束准直的光学特性。该光学特性可为折射或反射,或折射与反射的结合。亦可提供聚集光学元件以将多个光束引导至准直光学元件。光束组合器可用于热处理设备中,以将诸如激光的两个以上的相干放大辐射光束组合至单一光束中。
申请公布号 CN106291950A 申请公布日期 2017.01.04
申请号 CN201610717185.7 申请日期 2012.12.13
申请人 应用材料公司 发明人 斯蒂芬·莫法特;道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯;埃德里克·唐;布鲁斯·E·亚当斯;季平·李;阿伦·缪尔·亨特
分类号 G02B27/10(2006.01)I;G02B27/12(2006.01)I;G02B27/14(2006.01)I 主分类号 G02B27/10(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 徐金国;赵静
主权项 一种光束组合器,包含:多个相干辐射源;准直光学元件,所述准直光学元件被定位成接收来自所述多个相干辐射源的多个相干光束;聚集光学元件,所述聚集光学元件被定位成将所述多个相干光束引导至所述准直光学元件;校正光学元件,所述校正光学元件被定位成减少所述相干光束的扭曲。
地址 美国加利福尼亚州