| 发明名称 | 一种维持晶圆背压稳定的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种维持晶圆背压稳定的方法，包括：将晶圆放置到静电卡盘上；使静电卡盘向晶圆提供一个设定的托盘电压；向晶圆通入气体；在向晶圆通入气体后使得晶圆背压稳定；在晶圆背压稳定后判断晶圆背压是否符合工艺要求；在判定晶圆背压不符合工艺要求时，根据晶圆背压调节设定的托盘电压的数值，随后再次回到第二步骤；在判定晶圆背压符合工艺要求，执行处理工艺。 | ||
| 申请公布号 | CN106298453A | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
| 申请号 | CN201610795383.5 | 申请日期 | 2016.08.31 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 朱亮;柳小敏;陈伟;邰晓东 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 智云 |
| 主权项 | 一种维持晶圆背压稳定的方法，其特征在于包括：第一步骤：将晶圆放置到静电卡盘上；第二步骤：使静电卡盘向晶圆提供一个设定的托盘电压；第三步骤：向晶圆通入气体；第四步骤：在向晶圆通入气体后使得晶圆背压稳定；第五步骤：在晶圆背压稳定后判断晶圆背压是否符合工艺要求；第六步骤：在判定晶圆背压不符合工艺要求时，根据晶圆背压调节设定的托盘电压的数值，随后再次回到第二步骤。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||