集成电路生产车间用抽尘系统

摘要

本发明涉及一种集成电路生产车间用抽尘系统，包括多个设置于电路板操作台下方的抽吸装置，多个抽吸装置之间相互级联，并共同连接总控制器；所述抽吸装置包括通过纵横梁支撑的抽吸板，所述抽吸板上均布有微抽吸孔，位于微抽吸孔的下方，所述纵横梁的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管，所述抽吸管的管壁上设有吸尘孔，所述抽吸管上设有独立的控制阀并连接吸尘设备，抽吸管的正下方设有灰尘传感器，所述灰尘传感器与总控制器连接。本发明采用地面抽吸方式，对集中靠近地面的灰尘进行抽吸，其抽吸效果好，效率高；采用灰尘传感器检测，实现自动抽吸，无需人工控制。

主权项

一种集成电路生产车间用抽尘系统，其特征在于：包括多个设置于电路板操作台下方的抽吸装置(100)，多个抽吸装置(100)之间相互级联，并共同连接总控制器(6)；所述抽吸装置(100)包括通过纵横梁(1)支撑的抽吸板(2)，所述抽吸板(2)上均布有微抽吸孔(3)，位于微抽吸孔(3)的下方，所述纵横梁(1)的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管(4)，所述抽吸管(4)的管壁上设有吸尘孔，所述抽吸管(4)上设有独立的控制阀并连接吸尘设备，抽吸管(4)的正下方设有灰尘传感器(5)，所述灰尘传感器(5)与总控制器(6)连接。