具有毫米行程的单轴纳米位移执行器

摘要

一种具有毫米行程的单轴纳米位移执行器，在其直线导向底座的一侧设有梯形凹槽，在该梯形凹槽的两个斜面上设有两对剪切压电陶瓷叠堆，在剪切压电陶瓷叠堆的顶端设有光滑支撑块，在该直线导向底座与直线运动负载台之间设有相互吸引的磁力预紧机构；所述的直线运动负载台的截面为与该梯形凹槽配合的梯形台，该梯形台的两个斜面与所述的光滑支撑块顶端接触，该直线运动负载台与该直线导向底座之间通过磁力预紧机构的磁力相互吸引定位。本发明的优点是：采用磁力预紧机构，使得各压电陶瓷所受的正压力基本一致，从而使纳米位移执行器结构简单紧凑、装配简便以及抗干扰能力强；磁力预紧机构与直线运动负载台之间不产生摩擦力，增加了其负载能力。

主权项

一种具有毫米行程的单轴纳米位移执行器，其特征在于，包括直线导向底座、剪切压电陶瓷叠堆、光滑支撑块、磁力预紧机构及直线运动负载台，在直线导向底座的一侧设有梯形凹槽，在该梯形凹槽的两个斜面上设有两对剪切压电陶瓷叠堆，在剪切压电陶瓷叠堆的顶端设有光滑支撑块，在该直线导向底座与直线运动负载台之间设有相互吸引的磁力预紧机构；所述的直线运动负载台的截面为与该梯形凹槽配合的梯形台，该梯形台的两个斜面与所述的光滑支撑块顶端接触，该直线运动负载台与该直线导向底座之间通过磁力预紧机构的磁力相互吸引定位。