发明名称 |
一种双台面直写式曝光机的曝光系统 |
摘要 |
本实用新型属于直写式曝光机的技术领域,具体涉及一种双台面直写式曝光机的曝光系统和曝光方法;解决的技术问题为:提供一种结构稳定、曝光效率较高的双台面直写式曝光机的曝光系统;采用的技术方案为:包括支撑板,支撑板通过支撑柱设置于双台面上方,支撑板上设有挖空部,挖空部的两侧分别设置有两根线性导轨,两根线性导轨上设有光路安装板,光路安装板通过驱动机构可在两条线性导轨上作步进运动,步进运动的方向垂直于双台面运动的方向,光路安装板上设有用于发射曝光光束的光路镜筒,光路镜筒的曝光方向朝向所述双台面;本实用新型适用于PCB板曝光领域。 |
申请公布号 |
CN205862101U |
申请公布日期 |
2017.01.04 |
申请号 |
CN201620831924.0 |
申请日期 |
2016.08.02 |
申请人 |
无锡影速半导体科技有限公司 |
发明人 |
赵永;陈海巍 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 |
代理人 |
翁斌 |
主权项 |
一种双台面直写式曝光机的曝光系统,包括支撑板(1),所述支撑板(1)通过支撑柱(2)设置于双台面(3)上方,其特征在于:所述支撑板(1)上设有挖空部(9),所述挖空部(9)的两侧分别设置有两根线性导轨(4),两根线性导轨(4)上设有光路安装板(5),所述光路安装板(5)通过驱动机构可在两条线性导轨(4)上作步进运动,所述步进运动的方向垂直于所述双台面(3)运动的方向,所述光路安装板(5)上设有用于发射曝光光束的光路镜筒(6),所述光路镜筒(6)的曝光方向朝向所述双台面(3)。 |
地址 |
214135 江苏省无锡市新区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋1-2层 |