喷雾嘴和使用该喷雾嘴的涂敷系统

摘要

本发明涉及喷雾嘴和使用该喷雾嘴的涂敷系统，本发明的喷雾嘴和使用该喷雾嘴的涂敷系统，其特征在于，包括：液体喷嘴，用于向基板喷射液体；气体喷嘴，用于喷射气体，并使所述气体在所述液体的喷射路径上与所述液体冲撞使得所述液体一次微粒化；及电压供给部，与所述液体喷嘴连接，对所述液体喷嘴施加电压，使得在所述液体喷嘴和所述基板之间产生电场，以使所述液体二次微粒化。因此，本发明提供一种能够阶段性地使喷射溶液微粒化，从而能够稳定地喷射均匀大小的微小液滴，并且提高喷雾量，从而能够适用于批量生产工艺的喷雾嘴和使用该喷雾嘴的涂敷系统。

主权项

一种使用喷雾嘴的涂敷系统，包括：支撑部，用于搁置基板；喷雾嘴，包括液体喷嘴，用于向基板喷射液体；气体喷嘴，用于喷射气体，并使所述气体在所述液体的喷射路径上与所述液体冲撞使得所述液体一次微粒化；及电压供给部，与所述液体喷嘴连接，对所述液体喷嘴施加电压，从而在所述液体喷嘴与所述基板之间产生电场，以使所述液体二次微粒化，其中，所述喷雾嘴进一步包括外壳，所述外壳用于在内部收容所述液体喷嘴及所述气体喷嘴，并且形成有气体流道，所述气体流道引导气体的流动方向，使得从所述气体喷嘴喷射的气体在所述液体的喷射路径上与所述液体冲撞，其中，在所述外壳的内部使所述气体与所述液体进行冲撞；液体供给部，用于供给从所述液体喷嘴喷射的液体；气体供给部，用于供给在所述气体流道中流动的气体；及输送部，用于输送在所述支撑部及所述喷雾嘴中的至少一个，所述涂敷系统包括：等离子处理部，用于对基板进行等离子处理，所述喷雾嘴接收通过所述等离子处理部已进行等离子处理的基板，所述涂敷系统包括：传感器部，用于获取所述支撑部的位置信息；及控制部，通过所述传感器部接收所述支撑部的位置信息，并控制所述等离子处理部、所述喷雾嘴、所述电压供给部和所述输送部中的至少一个的操作。