用于管内壁镀膜的装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于管内壁镀膜的装置，包括电源和能够插入待镀管内的内电极，内电极为双层结构，内层为导电体，外层为介质层，使用状态下，内电极设置在待镀管内并连接至电源，待镀管由导电材料制成亦连接至电源，通电状态下，在内电极和待镀管之间产生介质阻挡放电，激励气体原料产生等离子体，实现薄膜沉积。本发明还公开了采用上述用于管内壁镀膜的装置进行管内壁镀膜的方法。本发明的用于管内壁镀膜的装置及方法，是采用表面带有介质层的内电极与导电的待镀管组成介质阻挡放电结构形式，使发明的装置可以在高气压、甚至在大气压下实现均匀放电，进而利用高频高电压电源激励产生均匀等离子体或相对均匀等离子体，实现金属管内壁薄膜沉积。

主权项

用于管内壁镀膜的装置，其特征在于：包括电源和能够插入待镀管(2)内的内电极(1)，所述内电极(1)为双层结构，内层为导电体(11)，外层为介质层(12)，使用状态下，所述内电极(1)设置在所述待镀管(2)内并连接至所述电源，所述待镀管(2)由导电材料制成亦连接至所述电源，通电状态下，在所述内电极(1)和所述待镀管(2)之间产生介质阻挡放电，激励气体原料产生等离子体，实现薄膜沉积。