| 发明名称 | 通过摄像头挑选不合格晶粒的仪器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种通过摄像头挑选不合格晶粒的仪器，包括主工作台和副工作台；主工作台可沿横向轨道左右移动；副工作台下方固定有纵向轨道；纵向轨道可沿所述主工作台上的轨道凹槽前后移动；所述主工作台上设置有晶圆固定槽；还包括纵向支架；所述纵向支架上固定有垂直于所述纵向支架的横向支架；所述横向支架安装有可上下移动的抓手部件；所述抓手部件的正下方设置有一摄像头；所述抓手部件的下方侧壁上固定有抓手。本发明公开了一种挑选不合格晶粒的仪器，可通过摄像头，对晶圆上的每一个晶粒进行拍摄，当捕捉到有墨点的晶粒之后，就控制抓手部件，将不合格晶粒挑选出来。本发明原理简单，挑选精确度高，可增加挑选速度，增加晶粒良率。 | ||
| 申请公布号 | CN106269585A | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
| 申请号 | CN201610555745.3 | 申请日期 | 2016.07.14 |
| 申请人 | 无锡宏纳科技有限公司 | 发明人 | 吕耀安 |
| 分类号 | B07C5/36(2006.01)I | 主分类号 | B07C5/36(2006.01)I |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人 | 聂汉钦 |
| 主权项 | 一种通过摄像头挑选不合格晶粒的仪器，其特征在于：包括主工作台(2)和副工作台(4)；所述主工作台(2)可沿横向轨道(1)左右移动；所述副工作台(4)下方固定有纵向轨道(2)；所述纵向轨道(2)可沿所述主工作台(2)上的轨道凹槽前后移动；所述主工作台(2)上设置有晶圆固定槽(5)；还包括纵向支架(6)；所述纵向支架(6)上固定有垂直于所述纵向支架(6)的横向支架(7)；所述横向支架(7)安装有可上下移动的抓手部件(8)；所述抓手部件(8)的正下方设置有一摄像头(10)；所述抓手部件(8)的下方侧壁上固定有抓手(9)。 | ||
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新区清源路20号太湖国际科技园传感网大学科技园立业楼D区一楼 | ||