薄膜封装结构、制备方法和具有该结构的有机发光装置

摘要

本发明提供一种薄膜封装结构，用于封装基板上的功能器件，所述薄膜封装结构由无机层薄膜和有机层薄膜交替层叠形成，最下层和最上层为无机层薄膜，所述无机层薄膜和有机层薄膜总层数不小于三层，其中至少一无机层薄膜由至少两种无机材料组成。本发明还提供一种上述薄膜封装结构的制备方法。本发明同时提供一种有机发光装置，包括基板、位于所述基板上的OLED器件及上述薄膜封装结构，所述薄膜封装结构用于封装所述OLED器件。交替层叠的无机层薄膜和有机层薄膜具有良好的阻隔水氧性能，能有效延长器件寿命；该薄膜封装结构能够使器件实现柔性功能，并满足器件轻薄化要求；封装工艺适于批量化生产及环境友好。

主权项

一种薄膜封装结构，用于封装基板上的功能器件，其特征在于，所述薄膜封装结构由无机层薄膜和有机层薄膜交替层叠形成，最下层和最上层为无机层薄膜，所述无机层薄膜和有机层薄膜总层数不小于三层，其中至少一无机层薄膜由至少两种无机材料组成。