| 发明名称 | 一种提高ZnO薄膜均匀性和分散性的低温处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种提高ZnO薄膜均匀性和分散性的低温处理方法，将已制备好的ZnO薄膜放入具有密封性的器皿中，然后将氨水滴入到器皿中，所述氨水的用量为器皿容积的0.07～0.20％；再将整个器皿置于加热板上加热，加热温度为50～150℃，加热时间为0.5～1h；加热完成后，待样品冷却后取出则处理完毕。本发明通过氨水蒸汽低温热处理，有效提高了低温制备的ZnO薄膜的均匀性和分散性，对于ZnO薄膜的低温制备和应用具有重要的意义；并且工艺简单易行，原料易得，能耗低，便于推广和应用。 | ||
| 申请公布号 | CN106298449A | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
| 申请号 | CN201610644338.X | 申请日期 | 2016.08.09 |
| 申请人 | 景德镇陶瓷大学 | 发明人 | 孙健;王艳香;邱任拯;陈凌燕;李家科;赵学国 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州广信知识产权代理有限公司 44261 | 代理人 | 李玉峰 |
| 主权项 | 一种提高ZnO薄膜均匀性和分散性的低温处理方法，其特征在于：将已制备好的ZnO薄膜放入具有密封性的器皿中，然后将氨水滴入到器皿中，所述氨水的用量为器皿容积的0.07～0.20％；再将整个器皿置于加热板上加热，加热温度为50～150℃，加热时间为0.5～1h；加热完成后，待样品冷却后取出则处理完毕。 | ||
| 地址 | 333001 江西省景德镇市珠山区陶阳南路景德镇陶瓷大学 | ||