一种贴合设备UVW旋转定位平台

摘要

本发明涉及一种贴合设备UVW旋转定位平台，包括支撑板以及底座，所述支撑板与底座之间四角处分别安装固定有一个XYθ移动组件，还包括有三组滚珠丝杆，所述三组滚珠丝杆与三个所述XYθ移动组件相连接，所述XYθ移动组件自下而上依次包括底板、X向移动板、Y向移动板以及与所述Y向移动板连接的θ轴旋转板，所述的底板与X向移动板以及所述X向移动板与所述X向移动板之间设有导轨装置。本发明使得该平台结构紧凑，且定位效果精确，可以适应于贴合设备中定位贴合使用。

主权项

一种贴合设备UVW旋转定位平台，其特征在于，包括支撑板以及底座，所述支撑板与底座之间四角处分别安装固定有一个XYθ移动组件，还包括有三组滚珠丝杆，所述三组滚珠丝杆与三个所述XYθ移动组件相连接，所述XYθ移动组件自下而上依次包括底板、X向移动板、Y向移动板以及与所述Y向移动板连接的θ轴旋转板，所述的底板与X向移动板以及所述X向移动板与所述X向移动板之间设有导轨装置。