| 发明名称 | 红外探测器的光谱响应度的测量系统和测量方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种红外探测器的光谱响应度的测量系统，其包括：红外光谱仪，用于提供宽谱红外光并对宽谱红外光进行聚焦；频谱仪，用于测量设置于宽谱红外光焦点位置处的待测红外探测器随频率f变化的电压信号S<sub>DUT</sub>(f)；其中，基于所述电压信号S<sub>DUT</sub>(f)获取所述待测红外探测器随波数w变化的响应信号S<sub>DUT</sub>(w)；根据响应信号S<sub>DUT</sub>(w)获得所述待测红外探测器的光谱响应度。本发明还公开一种红外探测器的光谱响应度的测量方法。本发明采用微纳加工技术制备的微台面探测器具有微米级的台面尺寸，空间分辨率高，结合三维平台的面扫描方法能更准确、直观的测量红外光源在焦点位置处的光强分布。 | ||
| 申请公布号 | CN106289725A | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
| 申请号 | CN201510313510.9 | 申请日期 | 2015.06.09 |
| 申请人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明人 | 熊敏;董旭;周桃飞;时文华 |
| 分类号 | G01M11/00(2006.01)I | 主分类号 | G01M11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人 | 孙伟峰;武岑飞 |
| 主权项 | 一种红外探测器的光谱响应度的测量系统，其特征在于，包括：红外光谱仪，用于提供宽谱红外光并对宽谱红外光进行聚焦；频谱仪，用于测量设置于宽谱红外光焦点位置处的待测红外探测器随频率f变化的电压信号S<sub>DUT</sub>(f)；其中，基于所述电压信号S<sub>DUT</sub>(f)获取所述待测红外探测器随波数w变化的响应信号S<sub>DUT</sub>(w)；根据响应信号S<sub>DUT</sub>(w)获得所述待测红外探测器的光谱响应度。 | ||
| 地址 | 215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号 | ||