一种多晶硅铸锭用坩埚涂层的制备方法以及坩埚

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭用坩埚涂层的制备方法，包括以下步骤：称取六方氮化硼缓慢加入到硅溶胶和高纯水混合液中搅拌均匀，制得所需浆料，按照重量百分比计，六方氮化硼用量为20％‑23％，高纯水用量为53％‑55％，硅溶胶用量为23％‑25％；在喷涂之前，先对浆料进行连续搅拌，保持室温为24‑28℃，保持待喷涂坩埚本体温度为60‑80℃，将浆料喷涂在坩埚底面上，坩埚侧面喷涂氮化硅；对喷涂后的坩埚进行烘焙，烘焙完毕后在坩埚底面即形成多晶硅铸锭用坩埚涂层。本发明工艺简单，便于操作，不引入杂质元素，有效保障了坩埚涂层的高致密性，使制备得到的坩埚涂层纯度高，从而有效抑制了坩埚杂质的污染，烘焙后的坩埚底部涂层稳定性好且结合强度高，提高底部勺子寿命。

主权项

一种多晶硅铸锭用坩埚涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)配料：称取六方氮化硼；2)浆料配制：在室温条件下，将所述六方氮化硼缓慢加入到硅溶胶和高纯水混合液中搅拌均匀，制得所需浆料，按照重量百分比计，所述六方氮化硼用量为20％‑23％，所述高纯水用量为53％‑55％，所述硅溶胶用量为23％‑25％；3)喷涂：在喷涂之前，先对浆料进行连续搅拌，所述预搅拌时间为5‑20min，连续搅拌时保持室温为24‑28℃，保持待喷涂坩埚本体温度为70‑80℃，将所述浆料喷涂在坩埚底面上，所述坩埚侧面喷涂氮化硅；4)烘培：对喷涂后的坩埚进行烘焙，烘焙完毕后在坩埚底面即形成多晶硅铸锭用坩埚涂层。