低频压电式MEMS振动能量采集器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种低频压电式MEMS振动能量采集器及其制备方法，采集器包括硅固定基座、压电悬臂梁和质量块，所述压电悬臂梁包括金属薄膜基片，以及压电薄膜层和电极层；压电薄膜层通过环氧树脂粘附于金属薄膜基片上，在压电薄膜层表面溅射一层金属电极，得到电极层，从而实现压电薄膜层的电极层与金属薄膜基片机械串联。方法包括：一、制备金属薄膜基片；二、对压电陶瓷片单面抛光并在抛光面上溅射或蒸发电极层；三、通过键合和减薄，深硅刻蚀工艺得到压电悬臂梁；四、切割质量块并采用粘贴的方法使压电悬臂梁的悬空端粘贴质量块。本发明降低了器件的固有频率，提高了采能元件的能量利用率，且方法简单易于实现。

主权项

一种低频压电式MEMS振动能量采集器，其特征在于，包括：硅固定基座、压电悬臂梁和质量块，其中：所述压电悬臂梁的一端固定在所述硅固定基座上，所述压电悬臂梁的另一端悬空并与所述质量块固定连接；所述压电悬臂梁包括：金属薄膜基片，以及压电薄膜层和电极层；其中：压电薄膜层通过环氧树脂粘附于金属薄膜基片上，在压电薄膜层表面溅射一层金属电极，得到电极层，从而实现压电薄膜层的电极层与金属薄膜基片机械串联。