发明名称 |
一种气体管路 |
摘要 |
本实用新型提供了一种气体管路,包括一气体流通管道以及一气体冷凝装置,所述气体冷凝装置可用于冷凝气体并收集气体凝结物。本实用新型提供的气体管路中,由于气体冷凝装置具有较快的冷凝速度,从而气体可优先于所述气体冷凝装置中发生凝结,避免于气体流通管道中析出气体凝结物,进而改善气体流通管道堵塞的现象,并进一步的可延长气体管路的保养周期,节约成本。 |
申请公布号 |
CN205850287U |
申请公布日期 |
2017.01.04 |
申请号 |
CN201620691686.8 |
申请日期 |
2016.07.01 |
申请人 |
上海新昇半导体科技有限公司 |
发明人 |
赵旭良;季文明;刘源;金嵩 |
分类号 |
B01D5/00(2006.01)I |
主分类号 |
B01D5/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
金华 |
主权项 |
一种气体管路,其特征在于:包括一气体流通管道以及一气体冷凝装置,所述气体冷凝装置包括一用于使气体凝结的冷凝部件以及一用于盛放气体凝结物的收集盒,所述冷凝部件安装于所述收集盒上,所述收集盒与所述气体流通管道连通。 |
地址 |
201306 上海市浦东新区泥城镇云端路1412弄15号3层 |