| 摘要 |
라인 패턴 구조물 및 이의 형성 방법에서, 라인 패턴 구조물은 끊어진 부위를 포함하는 라인 형상을 갖는 적어도 하나의 제1 라인 패턴을 포함한다. 최외곽에 위치하는 상기 제1 라인 패턴과 이웃하여 상기 제1 라인 패턴과 평행한 연장 라인과, 상기 제1 라인 패턴의 끊어진 부위와 인접하는 영역에서 상기 제1 라인 패턴 방향으로 향하도록 상기 연장 라인으로부터 돌출된 적어도 하나의 돌출 패턴을 포함하는 2개의 제2 라인 패턴을 포함한다. 상기 라인 패턴 구조물은 불량이 감소되고 간단한 공정을 통해 형성될 수 있다. |
