发明名称 | 一种利用高温纳米压痕仪实时测量材料氧化速率的方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种利用高温纳米压痕仪实时测量材料氧化速率的方法,包括如下步骤:在目标温度下对试件进行纳米压痕实验,获得试件未被氧化时基体的弹性模量E<sub>s</sub>,试件被氧化时所形成氧化膜‑基体的实时弹性模量E<sub>r</sub>,以及试件被氧化所形成氧化膜厚度达到预设值时氧化膜的弹性模量E<sub>f</sub>;根据E<sub>s</sub>、E<sub>f</sub>、E<sub>r</sub>、实时压痕深度值h计算得到试件被氧化时的实时氧化膜厚度d,并利用公式<img file="DDA0001106838900000011.GIF" wi="155" he="118" />计算得到试件被氧化时的实时氧化速率<img file="DDA0001106838900000012.GIF" wi="62" he="86" />其中,Δt为时间间隔,Δd为在Δt时间间隔内实时氧化膜厚度的变化值。该方法实现了对试件在微米及纳米尺度下的氧化速率的实时在线测量,对于研究材料在微纳米尺度下的表面氧化行为具有重要的意义。 | ||
申请公布号 | CN106290029A | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
申请号 | CN201610797943.0 | 申请日期 | 2016.08.31 |
申请人 | 清华大学 | 发明人 | 冯雪;李燕;方旭飞 |
分类号 | G01N3/40(2006.01)I | 主分类号 | G01N3/40(2006.01)I |
代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人 | 张建纲 |
主权项 | 一种利用高温纳米压痕仪实时测量材料氧化速率的方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:在目标温度下对试件进行纳米压痕实验,获得所述试件未被氧化时基体的弹性模量E<sub>s</sub>,所述试件被氧化时所形成氧化膜‑基体的实时弹性模量E<sub>r</sub>,以及所述试件被氧化所形成氧化膜厚度达到预设值时氧化膜的弹性模量E<sub>f</sub>;根据E<sub>s</sub>、E<sub>f</sub>、E<sub>r</sub>、实时压痕深度值h计算得到所述试件被氧化时的实时氧化膜厚度d,并利用公式<img file="FDA0001106838870000011.GIF" wi="156" he="118" />计算得到所述试件被氧化时的实时氧化速率<img file="FDA0001106838870000012.GIF" wi="66" he="79" />其中,Δt为时间间隔,Δd为在Δt时间间隔内实时氧化膜厚度的变化值。 | ||
地址 | 100084 北京市海淀区清华园1号 |