一种蓝宝石抛光工艺

摘要

本发明公开了一种蓝宝石抛光工艺，包括如下步骤：原料预处理、精磨、抛光、清洗和测试等，该蓝宝石抛光工艺，该蓝宝石抛光工艺，通过原料预处理和精磨工艺将原料表面经行研磨，降低抛光时的难度，节约抛光时间，通过使用由三氧化二铝制成抛光液硬度高，且在与蓝宝石摩擦过程中产生化学反应从而使CMP有效进行，稳定性高，成本低，通过FA/O复合活性剂增加抛光液的稳定性，提高抛光表面的平整性和工作效率，通过实验，在压力为4psi、转速为60rpm/min和pH值为10时，抛去的去除速率为6um/hr，当压力值为5psi、转速为60rpm/min和pH值为10时，抛去的去除速率为8um/hr，本发明的工艺流程简单，且同时节约成本，值得以后推广。

主权项

一种蓝宝石抛光工艺，其特征在于：包括以下步骤：S1、原料预处理，将蓝宝石原料放入研磨机中，加入磨料，其中磨料选取直径为18‑28um的聚晶金刚石微粉含量为15‑30％、纯水65‑75％，复合活性剂0.2‑0.5％和调节剂5‑10％，研磨时间为6‑10h，获得蓝宝石粗料；S2、精磨，将S1中获得的蓝宝石磨料，经过直径为0.5‑2um的聚晶金刚石微粉含量为15‑30％、纯水65‑75％，复合活性剂0.2‑0.5％和调节剂5‑10％，研磨时间为4‑6h，获得蓝宝石细磨料；S3、抛光，S2中获得的蓝宝石细磨料放置在抛光机上，抛光机转数为60‑180rpm，压力值为4‑8psi时，将粒径150‑400nm范围内的三氧化二铝粉体，与纯水之比为1:3比例溶合制成的三氧化二铝磨料抛光液注入抛光机内，对蓝宝石细磨料进行抛光；S4、冲洗，将S3中抛光后的蓝宝石放置在超声波清洗器上，加纯水清洗10‑15min；S5、检测，将清洗完毕的蓝宝石通过测厚仪进行测厚，再通过原子力显微镜测试表面粗糙度。