发明名称 |
薄膜晶体管阵列基板及制作方法 |
摘要 |
一种薄膜晶体管阵列基板及制作方法,包括:在衬底上形成栅极和扫描线;在该衬底上沉积栅绝缘层和形成半导体层;在该栅绝缘层上依次沉积透明导电薄膜和铜薄膜;在该铜薄膜上涂覆光阻层,并使用半色调掩膜或灰阶掩模对该光阻层进行曝光和显影,在形成源极、漏极和数据线的区域留下第一光阻,在形成像素电极的区域留下第二光阻,在其他区域移除该光阻层以露出该铜薄膜;使用可以同时蚀刻该铜薄膜和该透明导电薄膜的蚀刻液,一次蚀刻去除露出部分的该铜薄膜以及下方的该透明导电薄膜;利用光阻灰化去除位于该像素电极区域上的第二光阻;使用仅蚀刻该铜薄膜但不蚀刻该透明导电薄膜的蚀刻液,蚀刻去除位于该像素电极区域上的该铜薄膜;剥离该第一光阻。 |
申请公布号 |
CN106298807A |
申请公布日期 |
2017.01.04 |
申请号 |
CN201610831238.8 |
申请日期 |
2016.09.19 |
申请人 |
昆山龙腾光电有限公司 |
发明人 |
何佳新;郑立彬 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
上海波拓知识产权代理有限公司 31264 |
代理人 |
蔡光仟 |
主权项 |
一种薄膜晶体管阵列基板的制作方法,其特征在于,该制作方法包括:在衬底(10)上沉积栅金属薄膜,对该栅金属薄膜进行一次光刻工艺形成栅极(12)和扫描线(11);在该衬底(10)上依次沉积栅绝缘层(13)和半导体薄膜,对该半导体薄膜进行一次光刻工艺形成半导体层(14);在该栅绝缘层(13)上依次沉积透明导电薄膜(15)和铜薄膜(16);在该铜薄膜(16)上涂覆光阻层(20),并使用半色调掩膜或灰阶掩模(30)对该光阻层(20)进行曝光和显影,在形成源极(16a)、漏极(16b)和数据线(16c)的区域留下第一光阻(20a),在形成像素电极(15a)的区域留下第二光阻(20b),在其他区域移除该光阻层(20)以露出该铜薄膜(16),其中该第一光阻(20a)的厚度大于该第二光阻(20b)的厚度;使用可以同时蚀刻该铜薄膜(16)和该透明导电薄膜(15)的蚀刻液,一次性蚀刻去除露出部分的该铜薄膜(16)以及下方的该透明导电薄膜(15);利用光阻灰化去除位于该像素电极(15a)区域上的第二光阻(20b);使用仅蚀刻该铜薄膜(16)但不蚀刻该透明导电薄膜(15)的蚀刻液,蚀刻去除位于该像素电极(15a)区域上的该铜薄膜(16);剥离该第一光阻(20a),最终由该透明导电薄膜(15)制成该像素电极(15a),由该铜薄膜(16)制成该源极(16a)、漏极(16b)和数据线(16c),且在该源极(16a)、漏极(16b)和数据线(16c)下方重叠有该透明导电薄膜(15)。 |
地址 |
215301 江苏省苏州市昆山市龙腾路1号 |