一种去除基板表面静电和灰尘的方法和装置

摘要

本发明提供一种去除基板表面静电和灰尘的方法和装置，装置包括：清扫除尘器，静电去除器和视觉检测相机，其中，清扫除尘器包含了电机、毛刷和真空吸力套筒，清扫除尘器用于通过电机驱动旋转毛刷刷掉存在在基板表面的异物粉尘，并通过毛刷顶端搭载的真空吸力套筒，对异物粉尘进行收集；静电去除器产生带电离子，并通过气压使其产生的带电离子形成离子风，并将带电离子喷到基板表面，以中和基板上的静电；视觉检测相机用于对基板表面异物进行拍照对比，确认基板存在异物时，向清扫除尘器发送信号，以使得清扫除尘器再次对基板进行清扫处理。通过清扫除尘器扫除基板表面的异物，以及静电去除器通过离子风对静电进行中和，从而去除基板上存在的静电。

主权项

一种去除基板表面静电和灰尘的方法，其特征在于，包括：去除基板表面静电和灰尘的装置接收信号，并将信号发送给清扫除尘器，所述清扫除尘器根据信号清除基板表面异物，并进行收集处理，然后静电去除器产生电离子，并通过气压使其产生的带电离子形成离子风，并将带电离子喷到基板表面，以中和基板上的静电；视觉检测相机对基板表面异物进行拍照对比，进行异物排查，如果有异物存在没有清除干净，向所述清扫除尘器发送信号，以使得清扫除尘器再次对基板进行清扫处理；其中，所述清扫除尘器包含了电机、毛刷和真空吸力套筒，所述清扫除尘器用于通过电机驱动旋转毛刷刷掉存在在基板表面的异物粉尘，并通过毛刷顶端搭载的真空吸力套筒，对异物粉尘进行收集；所述静电去除器产生带电离子，并通过气压使其产生的带电离子形成离子风，并将带电离子喷到基板表面，以中和基板上的静电；视觉检测相机用于对基板表面异物进行拍照对比，确认基板存在异物时，向所述清扫除尘器发送信号，以使得清扫除尘器再次对基板进行清扫处理；所述毛刷用于调节上下高度，在对应表面有贴装元件的基板可实现向上抬起，作为过桥使用。