气动元件控制结构

摘要

气动元件控制结构，主要解决现有的半导体薄膜沉积设备控制气动元件需要进行检测时，由于气动元件在长距离、多路数控制时，所造成的管路过多、混乱、安全性差等问题。该控制结构采用在一个气体分配阀岛或气体分配阀体上安装多组阀的结构形式。上述气体分配阀岛上设计有压缩空气进口及气体分配通道；上述气体分配阀岛或气体分配阀体可以通过机械加工、铸造、注塑等方式制成。在设备装配及维护过程中需长距离控制气动元件进行检测操作时，只须将一路气源引入上述气体分配阀岛或气体分配阀体的进气口，通过气体分配阀岛或气体分配阀体上安装的手动阀上的出气口或出气孔，分别连接需控制的气动元件，实现对气动元件的分别控制功能。

主权项

一种气动元件控制结构，其特征在于：该控制结构采用在一个气体分配阀岛或气体分配阀体上安装多组阀的结构形式。