METHOD FOR FABRICATING FINGERPRINT RECOGNITION DEVICE

摘要

본 발명에 따르면, 지문인식장치 제조 방법에 있어서, 이미지 센서가 형성된 반도체 기판 상에 실리콘층을 형성한 뒤 실리콘 코팅층의 상부에 인 성분의 접촉발광물질(phosphor)을 웨이퍼 레벨에서 스프레이 방식으로 도포하여 접촉발광소자를 형성한 후, 후속공정으로 웨이퍼 레벨에서 접촉발광소자가 형성된 각각의 반도체 다이를 쏘잉하여 지문인식장치를 제조함으로써 공정을 단순화하여 생산수율을 높일 수 있다.