激光加工装置

摘要

本发明提供激光加工装置，其具有：电光元件，其配设在脉冲激光光线振荡构件与聚光器之间，对激光光线振荡构件振荡出的脉冲激光光线的偏振光的方位角进行变更；电压施加构件，其向电光元件施加电压；以及控制构件，其控制电压施加构件，控制构件控制向电光元件施加电压的电压施加构件，使得与脉冲激光光线的重复频率同步地将脉冲激光光线的偏振光的方位角定位成0度和90度而引导至双折射透镜，双折射透镜将偏振光的方位角被定位成0度和90度的脉冲激光光线分成寻常光和异常光并引导至聚光透镜，聚光透镜针对被分成寻常光和异常光的脉冲激光光线，形成寻常光的聚光点和异常光的聚光点。

主权项

一种激光加工装置，其具有：卡盘台，其保持被加工物；激光光线照射构件，其对该卡盘台所保持的被加工物照射激光光线；以及加工进给构件，其对该卡盘台和该激光光线照射构件相对地进行加工进给，该激光加工装置的特征在于，该激光光线照射构件具有：脉冲激光光线振荡构件，其振荡出相对于被加工物具有透过性的波长的脉冲激光光线；以及聚光器，其对由该脉冲激光光线振荡构件振荡出的脉冲激光光线进行会聚，对该卡盘台所保持的被加工物照射激光光线，该聚光器具有双折射透镜和聚光透镜，该激光加工装置具有：电光元件，其配设在该脉冲激光光线振荡构件与该聚光器之间，对该脉冲激光光线振荡构件振荡出的脉冲激光光线的偏振光的方位角进行变更；电压施加构件，其向该电光元件施加电压；以及控制构件，其控制该电压施加构件，该控制构件控制向该电光元件施加电压的该电压施加构件，使得与脉冲激光光线的重复频率同步地将脉冲激光光线的偏振光的方位角定位成0度和90度而引导至该双折射透镜，该双折射透镜将偏振光的方位角被定位成0度和90度的脉冲激光光线分成寻常光和异常光而引导至该聚光透镜，该聚光透镜针对被分成寻常光和异常光的脉冲激光光线，形成寻常光的聚光点和异常光的聚光点。