| 发明名称 | 一种兼容式掩模化学品供液系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种兼容式掩模化学品供液系统，包括集中加液桶、气控阀、第一主电磁阀、第二主电磁阀、手动调节阀、控制电路和压缩空气罐,集中加液桶连接抽液泵，抽液泵与第一主电磁阀的输入端连接，第一主电磁阀的输出端与数个气控阀的输入端连接，本系统装置包括集中加液桶，然后根据不同设备不同时间，实施自动供液。工作原理为：例如其中一个设备本体内部加液槽低于设定液位时，液位传感器将液位信号转化为电信号发送到设备，设备会向加液系统发出一个请求加液的信号，加液系统会自动打开气控阀，同时启动抽液泵，开始自动抽液到设备本体。 | ||
| 申请公布号 | CN106276764A | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
| 申请号 | CN201610789040.8 | 申请日期 | 2016.08.31 |
| 申请人 | 无锡中微掩模电子有限公司 | 发明人 | 杨晨;张月圆;季书凤;沙云峰;刘维维;王兴平;尤春;薛文卿;刘浩;胡超 |
| 分类号 | B67D7/02(2010.01)I;B67D7/36(2010.01)I;F04B15/00(2006.01)I;F04B49/03(2006.01)I | 主分类号 | B67D7/02(2010.01)I |
| 代理机构 | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人 | 黄冠华 |
| 主权项 | 一种兼容式掩模化学品供液系统，其特征在于：包括集中加液桶(4)、气控阀(5)、第一主电磁阀(1)、第二主电磁阀(12)、手动调节阀(11)、控制电路和压缩空气罐(8),集中加液桶(4)连接抽液泵(2)，抽液泵(2)与第一主电磁阀(1)的输入端连接，第一主电磁阀(1)的输出端与数个气控阀(5)的输入端连接，气控阀(5)的输出端连接设备本体(7),设备本体(7)内部安装液位传感器(3),压缩空气罐(8)与第二主电磁阀(12)的输入端连接，第二主电磁阀(12)的输出端与手动调节阀(11)的输入端连接，手动调节阀(11)的输出端与分电磁阀(6)的控制端连接。 | ||
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新区菱湖大道202室 | ||