一种基于图像处理的晶圆检测装置及方法

摘要

本发明涉及一种基于图像处理的晶圆检测装置，包括计算机、固定装置、相机、设置于相机上的显微筒镜、光源、三维平台、电机控制机箱以及设置到显微筒镜底部的显微物镜，相机位于显微筒镜的顶端，且相机和显微筒镜连接并固定在固定装置上且位于固定装置的一侧，光源位于显微筒镜的一侧且接入显微筒镜，且光源与相机相连接，三维平台位于显微筒镜的下侧，且显微物镜与三维平台的载物台正对，相机与计算机相连接，电机控制机箱分别与三维平台和计算机相连接。本发明具有系统简单，容易操作的优势，相较于一般的图像拼接技术具有拼接精度高的优势。

主权项

一种基于图像处理的晶圆检测装置，其特征在于：包括计算机(1)、固定装置(2)、相机(3)、设置于所述相机(3)上的显微筒镜(4)、光源(5)、三维平台(6)、电机控制机箱(7)以及设置到所述显微筒镜(4)底部的显微物镜(8)，所述相机(3)位于所述显微筒镜(4)的顶端，且所述相机(3)和显微筒镜(4)连接并固定在所述固定装置(2)上且位于所述固定装置(2)的一侧，所述光源(5)位于所述显微筒镜(4)的一侧且接入所述显微筒镜(4)，且所述光源(5)与所述相机(3)相连接，所述三维平台(6)位于所述显微筒镜(4)的下侧，且所述显微物镜(8)与所述三维平台(6)的载物台正对，所述相机(3)与所述计算机(1)相连接，所述电机控制机箱(7)分别与所述三维平台(6)和计算机(1)相连接。