发明名称 一种功率半导体器件及其制造方法
摘要 本发明涉及一种功率半导体器件及其制造方法,该功率半导体器件包括划片道区与多个芯片区,划片道区用于分隔多个芯片区,每个芯片区包括截止环区,截止环区邻接划片道区,截止环区上覆盖有金属层,金属层的一部分设置在划片道区上。本发明打破不在划片道内设置金属的传统做法,将靠近划片道区侧的截止环区域的金属层放置到划片道内,节省了截止环区的面积,进而减小了半导体功率器件的面积,降低了成本。
申请公布号 CN106298869A 申请公布日期 2017.01.04
申请号 CN201510300081.1 申请日期 2015.06.03
申请人 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 发明人 马万里;闻正锋;赵文魁
分类号 H01L29/06(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I 主分类号 H01L29/06(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 李相雨
主权项 一种功率半导体器件,包括划片道区与多个芯片区,所述划片道区用于分隔所述多个芯片区,其特征在于:每个所述芯片区包括截止环区,所述截止环区邻接所述划片道区,所述截止环区上覆盖有金属层,所述金属层的一部分设置在所述划片道区上。
地址 100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦