发明名称 |
一种功率半导体器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种功率半导体器件及其制造方法,该功率半导体器件包括划片道区与多个芯片区,划片道区用于分隔多个芯片区,每个芯片区包括截止环区,截止环区邻接划片道区,截止环区上覆盖有金属层,金属层的一部分设置在划片道区上。本发明打破不在划片道内设置金属的传统做法,将靠近划片道区侧的截止环区域的金属层放置到划片道内,节省了截止环区的面积,进而减小了半导体功率器件的面积,降低了成本。 |
申请公布号 |
CN106298869A |
申请公布日期 |
2017.01.04 |
申请号 |
CN201510300081.1 |
申请日期 |
2015.06.03 |
申请人 |
北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
发明人 |
马万里;闻正锋;赵文魁 |
分类号 |
H01L29/06(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
李相雨 |
主权项 |
一种功率半导体器件,包括划片道区与多个芯片区,所述划片道区用于分隔所述多个芯片区,其特征在于:每个所述芯片区包括截止环区,所述截止环区邻接所述划片道区,所述截止环区上覆盖有金属层,所述金属层的一部分设置在所述划片道区上。 |
地址 |
100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦 |