一种碳化硅单晶炉用压力控制系统

摘要

本实用新型涉及一种碳化硅单晶炉用压力控制系统，它包括反应室，在所述反应室一侧设有充气管路，另一侧设有主抽气管路和压力控制管路，在所述充气管路上设有充气阀和质量流量控制器，在所述主抽气管路上设有第一机械泵和第一抽气阀，在所述主抽气管路上设有分抽气管路，在所述分抽气管路上设有分子泵和第二抽气阀，在所述压力控制管路上设有压力传感器、压力控制阀、PID控制电路和第二机械泵，所述分抽气管路与压力控制管路相连。本实用新型控制精确，运行平稳。

主权项

一种碳化硅单晶炉用压力控制系统，其特征在于：它包括反应室（1），在所述反应室（1）一侧设有充气管路（2），另一侧设有主抽气管路（3）和压力控制管路（4），在所述充气管路（2）上设有充气阀（5）和质量流量控制器（6），在所述主抽气管路（3）上设有第一机械泵（7）和第一抽气阀（8），在所述主抽气管路（3）上设有分抽气管路（9），在所述分抽气管路（9）上设有分子泵（10）和第二抽气阀（11），在所述压力控制管路（4）上设有压力传感器（12）、压力控制阀（13）、PID控制电路（14）和第二机械泵（15），所述分抽气管路（9）与压力控制管路（4）相连。