| 发明名称 | 一种干刻机腔室装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种干刻机腔室装置，对现有技术中的固定部件进行了改良，有效地解决了其易破损的问题，降低了清洗更换的破损风险，降低了生产成本。该干刻机腔室装置，包括支撑台、台板和固定部件，所述台板固定在所述支撑台顶部，所述支撑台顶部外侧边缘形成梯台，所述台板的侧壁与所述梯台的侧壁平齐，所述固定部件的侧壁设有凸部，所述凸部与所述梯台配合，所述凸部侧壁与所述台板和所述梯台的侧壁贴合。 | ||
| 申请公布号 | CN205863131U | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
| 申请号 | CN201620649899.4 | 申请日期 | 2016.06.27 |
| 申请人 | 昆山国显光电有限公司 | 发明人 | 董磊磊 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人 | 孟潭 |
| 主权项 | 一种干刻机腔室装置，包括支撑台、台板和固定部件，所述台板固定在所述支撑台顶部，其特征在于，所述支撑台顶部外侧边缘形成梯台，所述台板的侧壁与所述梯台的侧壁平齐，所述固定部件的侧壁设有凸部，所述凸部与所述梯台配合，所述凸部侧壁与所述台板和所述梯台的侧壁贴合。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢 | ||